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●流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。●設備や塗装エアの消費流量管理。●半導体製造装置パージガスの流量管理。●イオナイザの流量管理。●微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。●ノズルやフィルタの目詰まり検知。●最大流量(L/min):200●分解能(L/min):0.10●接続サイズ:ワンタッチφ8●質量(g):70●対象流体:清浄/圧縮空気・窒素ガス(アルゴン炭酸ガス)●精度:±1%F.S以下●耐圧保証:1MPa●耐熱温度:0~50℃(結露なきこと)●容器保護等級:IP40●最高使用圧力:0.7MPa●アナログ出力:電圧1~5V●SW出力:2点●最低使用圧力:-0.09MPa●使用流体温度:0~50℃●直線性:±3%F.S.以下●応答時間:50ms以下●EMC指令適合品●流量表示:デジタル●流量調整:無し●原産国(名称):日本お取り寄せ商品のため、3週間~1ヶ月程度お時間をいただく場合がございます。予めご了承ください。 ※商品仕様等のお問い合わせは、メーカー:CKD(株)にお問い合わせ下さい。※画像はイメージです。リニューアル等により実物と異なる場合がありますので、メーカーHP等でご確認の上お買い求め下さい。

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